Contador óptico de partículas (OPC) no monitoramento do processo de fabricação de semicondutores
Na fabricação de semicondutores, minimizar as perdas de rendimento requer um controle de contaminação rigoroso em salas limpas. As partículas, uma importante fonte de microcontaminação, devem ser monitoradas continuamente. Os contadores de partículas ópticas da Cubic, usando a tecnologia Light Scattering, ajudam as fábricas a manter os baixos níveis de partículas no ar de forma eficaz.
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