Solução de monitoramento do processo de fabricação de semicondutores cúbicos

Na fabricação de semicondutoresIndústria, ParaMinimizEPerdas de rendimento, é essencial para fábricas de semicondutores (semicondutor Fabs) para adotar estratégias rigorosas de controle de contaminação nas salas limpas. Normalmente, pA matéria articulada é uma das principais fontes de microcontaminação nos processos de fabricação de semicondutores, que precisa ser monitorada continuamente...

A fim de ajudar as fábricas de semicondutores (fábricas de semicondutores) a monitorar continuamente as partículas ParaManter baixos níveis de partículas transportadas pelo ar Em salas limpas,CúbicoForneceu confiável ÓpticoPartícula Contadores baseados na tecnologia de dispersão de luz,Série OPC-6303 ESérie OPC-6510, que Realizar detecção precisa de partículas de vários tamanhos em uma unidade de volume de ar...Com um módulo de sensor de contador de partículas laser exclusivo integrado, ventilador RPM consistente e sensor de fluxo ultrassônico bem projetado, OPC-6510 Série e série OPC-6303 podeFornecer uma taxa de fluxo estável e alta de 28.3L/min taxa de amostragem de gás que permite que ele complacente ISO 21501-4Exigência. CúbicoOnlineÓptico Contador de partículasPode produzir simultaneamente o número de partículas de 5 canais de 0,3μm, 0,5μm, 1.0μm, 5.0μm, 10μm em pcs/28.3L ou pcs/m³and suporta operação 24/7 para garantir monitoramento de partículas estável e contínuo...Além disso,CúbicoÓptico Contador de partículas (OPC)SériePoderia alcançar a transmissão on-line de dados de monitoramento com base em RS485 ModBus e comunicação MQTT, que pode ser integrado ainda mais no sistema de filtragem para manter a poluição da matéria de partículas no ambiente da sala limpa dentro de uma determinada faixa de baixa concentração.

Além disso, paraPerceber em tempo aviso de segurança durante os processos de fabricação da indústria de semicondutores, Cúbico também projetadoSensor de umidade de rastreamento baseado em tecnologia TDLAS E sensor de oxigênio, paraMedida OTraço de conteúdo em gases de pureza ultra-alta Com alta seletividade, alta precisão e excelenteFiabilidade...